Handschuhboxen mit Joule-Effekt-Vakuum
für die PVD-DünnschichtabscheidungProjektergebnisse:
Joule-Vakuumverdampfungsrahmen, die in eine Handschuhbox unter kontrollierter Atmosphäre integriert sind, eignen sich für die Abscheidung dünner Schichten aus metallischen Materialien (Au, Pt, Ti, Cr, Al, Li ...) und Oxiden (SiO2, HfO2, Al2O3, ...). Diese thermischen Verdampfer werden häufig zur Metallisierung eingesetzt, z. B. für Photovoltaikzellen und Detektoren, zur Elektrodenabscheidung (ohmsche Kontakte), z. B. für Batterien und OLED-Organikelektronik, sowie für hochschmelzende Dünnschichten und optische Schichten.
Die nachfolgend beschriebene Anlage ist ein Beispiel für eine Lösung, die Jacomex in Partnerschaft mit Alliance Concept für die Abscheidung dünner Schichten metallischer Materialien in gereinigten Handschuhboxen geliefert hat.
PUREEVO Handschuhbox
The model is available in different lengths - 2 gloves, 3 gloves, 4 gloves and two configurations - single-sided or double-sided.
The glove box is equipped with two vacuum airlocks, usually Ø400 and Ø150mm, connected to a vacuum pump (rotary vane primary pump or dry pump). Depending on the requirements, the airlocks can be produced in a heated version as well. In case of connection to another glove box that is used in the phases of deposition, preparation or characterization of substrates, it is possible to provide T vacuum airlocks that allow the introduction of materials from outside in a glove box as well as the transfer of samples from one glove box to the other.
The PUREEVO glove box is equipped with a P(sys) purification unit for continuous removal of traces of moisture and oxygen from the working volume at levels of 1 ppm or less. The purification units of the P(sys) range are high capacity gas scrubbers (N2, Ar) with variable flow rate circulator, automatic regeneration, automatic pressure regulation and 24/24 continuous Energy Saving mode. Other features (alarms, history, data export, etc...) allow an easy use with optimal working conditions. They are available in two models: a single line version with sufficient purification capacity to work comfortably over time without the need for regeneration, and a double line version to secure its working environment at 1ppm without interruption.
P(sys) single line: capacities 45L O2 - 1440 gr H20
P(sys)-II-P double line: capacities 90L O2 - 2880 gr H20
H2O and O2 sensors allow continuous monitoring of the purity of the atmosphere on screen.
The whole unit is entirely controlled by a PLC with access to data control and parameter settings on a color touch screen.
You can find our detailed information on the PUREEVO and our different P(sys) purification systems on the Jacomex website.
Ein P300 VACUUM PRESSURE KIT
Kubische Vakuumkammer aus Edelstahl, 300 mm, mit schwenkbarer Aluminium-Fronttür mit zwei Sichtfenstern zum Beladen von Materialien in Verdampfungsquellen oder für Wartungsarbeiten (z. B. Wechsel von Schutzschirmen). Eine Prozesstür zum Beladen von Substraten aus der Handschuhbox. Das Gehäuse ist mit einem Satz Schutzschirme für die Innenwände der Kammer ausgestattet. Außerdem sind verschiedene Anschlüsse vorgesehen:
- Sichtfenster,
- Vorpumpenanschluss,
- Belüftung,
- Pumpenanschluss,
- freie Durchführungen zur Installation Ihrer Messzubehörteile oder anderer Zubehörteile, falls erforderlich.
Bei diesem HV-Rahmen wird die Abdichtung durch die Verwendung von Viton-Ringen gewährleistet.
Mehrere QUELLEN FÜR LEERVERDAMPFUNG
Jede Joule-Quelle besteht aus einer wassergekühlten Hochstrom-Stromdurchführung, die an einen Hochstromgenerator angeschlossen ist, sowie einer Hochstromdurchführung, die mit Masse verbunden ist. Im oberen Bereich verfügen die Stromdurchführungen über eine Schraubbefestigung zur Fixierung entweder eines Widerstandsfilaments (Wolfram ...) zur Aufnahme des zu verdampfenden Materials (Draht) oder einer Gondel bzw. eines Verdampfungsofens. Die Gondelhalterung ist mit Gondeln bis zu 100 mm Länge kompatibel.
Eine pneumatische Quellenabdeckung verdeckt die Quelle während der Vorbereitung der Beschickungen vor der Verdampfung. Die Anlage ist für bis zu drei Quellen ausgelegt.
KONFIGURATION DER NETZTEILE
Ein Hochstromnetzteil, das für die thermische Verdampfung von Materialien erforderlich ist. Ausgangsleistung 2 kW, Steuerspannung 4 V und maximaler Ausgangsstrom 475 A. Das Netzteil wird über einen Leistungsregler gesteuert und vom Abscheidungscontroller automatisch verwaltet.
SEKUNDÄRES VAKUUMPUMPSYSTEM
Trockene oder ölgeschmierte Drehschieber-Vorpumpe. Eine PFEIFFER-Turbomolekularpumpe als Sekundärpumpe, Modell HiPace 300 oder gleichwertig, Saugvermögen 300 l/s. Sekundär-Absperrventil.
Vorentleerungs- und Entlade-Absperrventile an der Sekundärpumpe für ein Bypass-System, das eine optimale Lebensdauer der Anlage gewährleistet. Ein gesteuertes Ventil zur Belüftung des Gehäuses. Druckmessung über ein dreifaches Pirani-/Bayard-Alpert-Messgerät INFICON BCG 450 oder gleichwertig, Messbereich 10+3 bis 10-10 mbar, sowie ein kapazitiver Sensor zur Erkennung von Patm.
SCHICHTDICKENCONTROLLER mit EINZELNEM QUARZKOPF
Automatischer Prozesscontroller zum Programmieren, zur Servoregelung und zur Echtzeitkontrolle der Abscheidung verschiedener Materialien, Kombinationen dieser Materialien werden im Speicher abgelegt, Abscheidungen in Sequenz. Verwaltung von bis zu zwei Messköpfen. Zeit- und Stromstufe werden in Echtzeit auf einem Display angezeigt. Ein mit einem Quarzsensor ausgestatteter Kopf erfasst Frequenzänderungen der Schwingung in Abhängigkeit von der abgeschiedenen Masse mithilfe des MODELOCK-Verfahrens, das das Signal-Rausch-Verhältnis verbessert. Messintervall 0,25 s. Auflösung in Schichtdicke und Geschwindigkeit: 0,06 Å bei Tooling/Dichte = 100 bei einer Grundschwingfrequenz von 6 MHz.
Schwingfrequenz 6 MHz. Grenzwert der Frequenzabweichung 1,0 MHz.
Tiegelabdeckung, die die Quelle während der Vorheizphase abdeckt, betätigt durch einen pneumatisch betriebenen Zylinder, der vom Abscheidungscontroller gesteuert wird.
Standardmäßiger, einzelner, wassergekühlter Quarz-Messkopf, verbunden mit seinem 6-MHz-Oszillator über eine abgedichtete elektrische Durchführung. Die Quarzwaage ist mechanisch im Gehäuse fixiert, um die Reproduzierbarkeit der Abscheidungen in unmittelbarer Nähe zum Substrat sicherzustellen. Weitere Konfigurationen und Strategien zur Schichtdickenmessung sind möglich.
Motorisierte rotierende SUBSTRATTÜR
Im oberen Bereich der Kammer installiert.
STEUER- UND AUTOMATISIERUNGSSYSTEM
Kompaktes Steuerungssystem mit Touchscreen-SPS oder gleichwertig, das SPS und Bedienpanel in einem einzigen Gerät integriert. Ermöglicht ein Pumpenmanagement mit automatischer Umschaltung vom Primär- auf das Sekundärvakuum bei Anzeige des Arbeitsdrucks in der Kammer. Zudem gewährleistet es Sicherheit sowohl für den Anwender als auch für die Anlage. So ist es beispielsweise unmöglich, die Quelle zu speisen, wenn die Kammer geöffnet ist.
Jacomex und Alliance Concept bieten Anlagen an, die Handschuhbox und PVD-Dünnschichtabscheidungssystem kombinieren, angepasst an Ihre Anforderungen und unter Einhaltung Ihres Budgets. Mit mehreren Jahrzehnten Erfahrung bieten Ihnen beide Unternehmen ihr anerkanntes Know-how in Frankreich sowie in vielen Forschungsinstituten und Unternehmen weltweit. Konstruktion und Fertigung erfolgen in Frankreich und gewährleisten die für diese Art von Hightech-Anlagen erforderliche Qualität.