Primäre Trockenpumpe

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Primäre Trockenpumpe
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Beschreibung

Die Qualität des Pumpvorgangs in einer Handschuhbox ist wichtig. Die Stabilität der Reinheit von Sauerstoff und Feuchtigkeit in einer Handschuhbox hängt ebenfalls davon ab. Die Vakuumpumpe wird nämlich verwendet, um Gas oder Luft aus Transferschleusen zu evakuieren, die an Handschuhboxen mit Reinigungseinheiten montiert sind.

Für spezifische Anwendungen wie Halbleiter im Reinraum oder die Abscheidung dünner Schichten beispielsweise, bei denen Kohlenwasserstoffspuren vermieden werden müssen, ist es erforderlich, die Technologie zu wechseln und Schleusenvakuumzyklen mit einer Trockenpumpe durchzuführen.

Die höheren Kosten im Vergleich zu einer Drehschieberpumpe werden durch unbestreitbare Vorteile wie geringeren Wartungsaufwand und niedrige Betriebskosten, lange Lebensdauer und geringen Geräuschpegel ausgeglichen. Trockenpumpen eignen sich tatsächlich für alle heutigen fortschrittlichen Technologien. Nach einem ersten Informationsaustausch helfen wir Ihnen bei der Auswahl der für Ihre Anforderungen am besten geeigneten Marke und des passenden Modells.

Technische Daten

Technische Spezifikationen – Informationen

Ölfreie Trockenpumpen
Durchflussraten: 6 m³/h – 12 m³/h – 18 m³/h je nach Modell
P. Grenzwert: 7·10⁻² hPa – 5·10⁻² hPa – 3·10⁻² hPa je nach Modell

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